- Urządzenia techniki próżniowej
- Technologie cienkowarstwowe:
Metody depozycji:
- Jonowe napylanie magnetronowe,
- Naparowanie próżniowe,
- Rozwirowanie obrotowe
Metody badawcze:
- Spektroskopia UV-Vis (pomiar luminescencji absorpcji, transmisji i odbicia)
- Elipsometria spektroskopowa (nieniszczący pomiar grubości, chropowatości, współczynników załamania i ekstynkcji)
- Miernik oporności powierzchniowej